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產(chǎn)品名稱: IH600愛德華螺桿泵維修簡要描述: IH600愛德華螺桿泵維修,半導(dǎo)體真空泵維修保養(yǎng)。GV系列干泵維修,EH系列羅茨泵維修GVS系列螺桿泵維修更新時間: 2024-10-28瀏覽次數(shù): 1528
產(chǎn)品介紹
品牌 | 其他品牌 | 供貨周期 | 一周 |
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,石油,能源,電子 |
湖北武漢IH600愛德華螺桿泵維修,半導(dǎo)體真空泵維修保養(yǎng)。Edwards IH600系列干泵在環(huán)境(顆粒,腐蝕物)下有著高可靠性,例如PECVD,LPCVD中。IH600工作在大氣壓和極限壓力之間,無需潤滑,這樣就確保了油不會被反抽到系統(tǒng)中。IH600系統(tǒng)有一個HCDP80干泵;HCMB-600干泵。IH600系統(tǒng)適用于無風(fēng)冷電機的潔凈環(huán)境中。IH600干泵系統(tǒng)還擁有運送清潔氣體進入HCDP泵的氣體系統(tǒng),適用于制程物嚴(yán)重的工藝中。使用在較低要求的工藝下可共同改變氣體排放模式改變N2消耗量。通過顯示終端可手動控制真空系統(tǒng)。另外,可以通過接口模塊或即時通訊模塊或IH單設(shè)備監(jiān)控器使用其他控制設(shè)備去操作IH干泵系統(tǒng)。 半導(dǎo)體晶圓廠的應(yīng)用包括: LOADLOC 傳送 測量 光刻 物理氣相沉積工藝 物理氣相沉積預(yù)清潔 快速熱退火 去膠 蝕刻 高密度等離子化學(xué)氣相沉積 高密度等離子體化學(xué)氣相沉積快速熱處理 大氣化學(xué)氣相沉積sacvd 鎢化學(xué)氣相沉積
等離子體增強化學(xué)氣相沉積 低壓化學(xué)氣相淀積。
規(guī)格參數(shù):
Edwards IH600
項 目 參 數(shù)
Inlet Connection ISO 100
Outlet Connection NW40
Peak Speed 518 m3h1
8635 1min-1
305 CFM
Ultimate Vacuum 2 x 10-3 mbar
1.5 x 10-3 Torr
Power bbbbb at vacuum 3.1 kW
Rated Motor Power 5.1 kW
Weight 913 kg/lbs.
湖北武漢IH600愛德華螺桿泵維修,GV系列干泵維修,EH系列羅茨泵維修GVS系列螺桿泵維修
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